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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：本发明提供一种气体成分检测装置10，具备色谱柱21、传感器23、流路621、622以及流路切换器22。色谱柱21分离被检测气体的成分。传感器23例如是半导体传感器，连接在色谱柱21的下游，检测被检测气体的成分。流路621、622连接色谱柱21和传感器23。流路切换器22配置在流路621与流路622之间。流路切换器22切换执行测量模式和排出模式，其中，在测量模式下，使从色谱柱21排出的被检测气体流入到传感器23，在排出模式下，将从色谱柱21排出的被检测气体排出到外部。
主权项：1.一种气体成分检测装置，具备：色谱柱，分离被检测气体的成分；传感器，连接在上述色谱柱的下游，检测上述被检测气体的成分；下游侧流路，连接上述色谱柱和上述传感器；以及流路切换器，配置于上述下游侧流路，上述流路切换器切换执行测量模式、排出模式以及逆流模式，其中，在上述测量模式下，使从上述色谱柱排出的上述被检测气体流入到上述传感器，在上述排出模式下，将从上述色谱柱排出的上述被检测气体排出到外部，在逆流模式下，通过使气体逆流以从上述下游侧流路通过上述色谱柱来清洗上述色谱柱，上述流路切换器具备阀或者鼓风机，上述鼓风机具有整流功能，通过由控制部控制上述阀或者上述鼓风机，将上述被检测气体向外部放出。
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