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申请/专利权人：力晶积成电子制造股份有限公司
摘要：本发明公开一种气体分析系统，包括分析装置、共用管路、多个待分析气体源、多个采样管路、冲洗气体供应装置、冲洗气体供应管路与加湿器。共用管路连接于分析装置。多个采样管路连接于多个待分析气体源与共用管路之间。多个采样管路彼此分离。冲洗气体供应管路连接于冲洗气体供应装置与共用管路之间。冲洗气体供应管路与共用管路的连接位置邻近于共用管路的远离分析装置的一端。加湿器设置在冲洗气体供应管路上。
主权项：1.一种气体分析系统，包括：分析装置；共用管路，连接于所述分析装置；多个待分析气体源；多个采样管路，连接于多个所述待分析气体源与所述共用管路之间，且彼此分离；冲洗气体供应装置；冲洗气体供应管路，连接于所述冲洗气体供应装置与所述共用管路之间，其中所述冲洗气体供应管路与所述共用管路的连接位置邻近于所述共用管路的远离所述分析装置的一端；以及加湿器，设置在所述冲洗气体供应管路上。
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百度查询： 力晶积成电子制造股份有限公司 气体分析系统
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