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申请/专利权人：株式会社TMEIC
摘要：本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，不将放电空间分割为多个、且施加1种交流电压，就能够向外部喷出包含活性气体浓度相互不同的多种局部活性气体的活性气体。在本发明中，高电压侧电极构成部1A包括电介质电极111及形成在电介质电极111的上表面上的金属电极101H、101L。电介质电极111成为沿着X方向而膜厚连续地变化的构造。即，电介质电极111的右端的膜厚被设定为厚度dA1，左端的膜厚被设定为厚度dB1＞dA1，沿着X方向从右端到左端而连续地变厚。
主权项：1.一种活性气体生成装置，具有：第1电极构成部；第2电极构成部，设置在上述第1电极构成部的下方；以及交流电源部，对上述第1电极构成部及上述第2电极构成部施加交流电压，通过由上述交流电源部施加上述交流电压，由此在上述第1电极构成部及上述第2电极构成部之间形成放电空间，生成使供给至上述放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，其特征在于，上述第1电极构成部具有第1电介质电极及形成在上述第1电介质电极的上表面上的第1金属电极，上述第2电极构成部具有第2电介质电极及形成在上述第2电介质电极的下表面上的第2金属电极，在上述第1电介质电极与上述第2电介质电极对置的电介质空间内，上述第1金属电极与上述第2金属电极俯视重复的区域被规定为上述放电空间，上述第1金属电极及上述第2金属电极在电极形成方向上延伸形成，上述原料气体的供给方向是与上述电极形成方向直角地交叉的方向，上述第2电介质电极为，具有用于将上述活性气体向外部喷出的多个气体喷出孔，上述活性气体包含从上述多个气体喷出孔喷出的多种局部活性气体，上述多个气体喷出孔沿着上述电极形成方向形成，上述放电空间与上述电极形成方向上的上述多个气体喷出孔的位置对应地被分类为多个局部放电空间，上述第1电介质电极及上述第2电介质电极中的一方的电介质电极为，具有沿着上述电极形成方向使放电电压贡献参数变化的参数变化构造，以使得在上述交流电压的施加时在上述多个局部放电空间中产生的多个局部放电电压成为相互不同的值，通过上述参数变化构造，使气体浓度相互不同的上述多种局部活性气体从上述多个气体喷出孔喷出。
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