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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了检测EPD模块安装距离的实验平台，第一承载机构可转动地连接在第一支撑板上；EPD模块可滑动地连接在第一承载机构上，并适于沿第一方向固定在第一承载机构的不同位置；第二支撑板通过平移组件沿第二方向与第一支撑板滑动连接；第二承载机构沿第一方向滑动连接在第二支撑板上；晶圆连接在第二承载机构上；按压组件连接在第二支撑板上；距离侦测机构设置在第二支撑板和第一支撑板之间，用于侦测晶圆与EPD模块之间的距离；其中，第一方向与第二方向垂直设置。本发明提供的检测EPD模块安装距离的实验平台，可替代EPD模块在设备上检测，节约了安装拆卸成本且降低了部件损坏磕伤风险。
主权项：1.一种检测EPD模块安装距离的实验平台，其特征在于，包括：第一支撑板1；第一承载机构，可转动地连接在所述第一支撑板1上；EPD模块3，可滑动地连接在所述第一承载机构上，并适于沿第一方向固定在所述第一承载机构的不同位置；第二支撑板4，与所述第一支撑板1间隔且相对设置；平移组件，所述第二支撑板4通过所述平移组件沿第二方向与所述第一支撑板1滑动连接；第二承载机构6，沿所述第一方向滑动连接在所述第二支撑板4上，并位于所述第一支撑板1和所述第一承载机构之间；晶圆7，连接在所述第二承载机构6上，并位于朝向所述第一承载机构的一侧；按压组件，连接在所述第二支撑板4上，用于向所述第二承载机构6施加朝向所述第一承载机构的压力；距离侦测机构9，设置在所述第二支撑板4和所述第一支撑板1之间，用于侦测所述晶圆7与所述EPD模块3之间的距离；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 检测EPD模块安装距离的实验平台
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