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申请/专利权人：卢森堡科学技术研究院
摘要：公开了用于制造具有PZT材料的厚膜10的MIM结构体的工艺，其中，通过交替沉积PZT浆料10.1和PZT溶液10.2，将PZT材料沉积在基板2、4、6、8上。此外，公开了包含用这样的工艺制造的MIM致动器的触觉设备。
主权项：1.用于制造用于触觉设备的金属-绝缘体-金属致动器的方法，所述方法包括：a提供102基板2、4、6、8；b提供104锆钛酸铅PZT溶液；c制备106包含PZT溶液、纳米粉末和表面活性剂的PZT浆料；d在所述基板2、4、6、8上沉积200PZT溶液的层10.2；e在所述PZT溶液的层10.2上沉积300PZT浆料的层10.1；f在所述PZT浆料的层10.1上沉积400PZT溶液的至少一个层10.2；g重复步骤e和f以获得PZT材料的厚膜10，所述厚膜10的组合厚度在所述基板的厚度的1％至10％之间并且在约10μm至约100μm之间；以及h在所述PZT材料的厚膜10上沉积600金属图案化电极12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卢森堡科学技术研究院 具有厚PZT膜的MIM致动器和具有这样的致动器的触觉设备
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