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申请/专利权人：上海玖蓥智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆校准装置。该晶圆校准装置包括：真空吸附载台与三轴向控制模块组同轴固定，且位于三轴向控制模块组的水平上方，线扫工业相机通过安装支架与三轴向控制模块组固定于台面上，数据处理模块的输入端与线扫工业相机的输出端连接，数据处理模块的输出端与三轴向控制模块组的输入端连接，三轴向控制模块组包括：X轴向控制模块、Y轴向控制模块和角度控制模块，用于依据位置调整参数通过X轴向控制模块、Y轴向控制模块和角度控制模块调节晶圆的位置至目标位置；其优点在于有效节省了空间，提高了检测效率和定位精度。
主权项：1.一种晶圆校准装置，其特征在于，包括：台面1、线扫工业相机2、真空吸附载台4、三轴向控制模块组、安装支架8和数据处理模块，其中，所述真空吸附载台4与所述三轴向控制模块组同轴固定，且位于所述三轴向控制模块组的水平上方，用于固定晶圆；所述线扫工业相机2通过所述安装支架8与所述三轴向控制模块组固定于所述台面1上，用于通过所述线扫工业相机2采集固定于所述真空吸附载台4的所述晶圆的图像；所述数据处理模块的输入端与所述线扫工业相机2的输出端连接，所述数据处理模块的输出端与所述三轴向控制模块组的输入端连接，用于依据所述晶圆的图像获取所述晶圆的轮廓坐标，并依据所述轮廓坐标建立坐标系，依据所述晶圆的轮廓坐标和所述坐标系获取圆心和切边，依据所述圆心和切边生成所述晶圆的位置调整参数；所述三轴向控制模块组的输入端与所述数据处理模块的输出端连接，其中，所述三轴向控制模块组包括：X轴向控制模块6、Y轴向控制模块7和角度控制模块5，用于依据所述位置调整参数通过所述X轴向控制模块6、所述Y轴向控制模块7和所述角度控制模块5调节所述晶圆的位置至目标位置。
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百度查询： 上海玖蓥智能科技有限公司 晶圆校准装置
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