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申请/专利权人：品图锐光科技(深圳)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆快速检测用转运装置及晶圆检测装置，晶圆快速检测用转运装置及包括转运底座，转运底座形成有转运口，转运口内设置有升降底座，升降底座能于转运口中升降；升降底座转动连接有摆臂单元，摆臂单元的一端部延伸至转运口外并安装有取片单元；沿水平方向，转运底座于转运口外安装有升降装置，升降装置的升降端部延伸至转运口中，并与升降底座固定连接；沿竖直方向，转运底座于转运口外安装有旋转装置，旋转装置的旋转端部延伸至转运口中，并与摆臂单元固定连接。通过升降装置调节升降底座和摆臂单元的高度，通过旋转装置调节摆臂单元的旋转角度，从而实现取片单元的位置改变，具备高速取放晶圆的优点。
主权项：1.一种晶圆快速检测用转运装置，其特征在于，包括转运底座（10），所述转运底座（10）形成有转运口（101），所述转运口（101）内设置有升降底座（20），所述升降底座（20）能于所述转运口（101）中升降；所述升降底座（20）转动连接有摆臂单元（30），所述摆臂单元（30）的一端部延伸至所述转运口（101）外并安装有取片单元（40）；沿水平方向，所述转运底座（10）于所述转运口（101）外安装有升降装置（50），所述升降装置（50）的升降端部延伸至所述转运口（101）中，并与所述升降底座（20）固定连接；沿竖直方向，所述转运底座（10）于所述转运口（101）外安装有旋转装置（60），所述旋转装置（60）的旋转端部延伸至所述转运口（101）中，并与所述摆臂单元（30）固定连接。
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