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申请/专利权人：天津津航技术物理研究所
摘要：本申请公开一种用于亚微米量级光学元件表面疵病检测装置及方法，涉及光学表面检测技术领域，该装置包括：显微镜，显微镜具有载物台；承载组件，承载组件设置在载物台上；承载组件具备可绕其中心轴线转动的承载面，承载面用于放置被测样品；通过移动载物台以及转动承载面，改变被测样品与显微镜的视场之间的相对位置，从而对被测样品所有区域内的表面疵病检测。避免出现漏检问题，适用多种不同类型的光学元件表面疵病检测。
主权项：1.一种用于亚微米量级光学元件表面疵病检测装置，其特征在于，包括：显微镜，所述显微镜具有载物台1；承载组件，所述承载组件设置在所述载物台1上；所述承载组件具备可绕其中心轴线转动的承载面，所述承载面用于放置被测样品2；通过移动所述载物台1以及转动所述承载面，改变所述被测样品2与所述显微镜的视场之间的相对位置，从而对被测样品2所有区域内的表面疵病检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津津航技术物理研究所 一种用于亚微米量级光学元件表面疵病检测装置及方法
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