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申请/专利权人：常州时创能源股份有限公司
摘要：本发明公开了一种简便高效的双POLO电池结构的制备方法，属于光伏技术领域，包括：S1、正面生长；S2、背面生长；S3、激光扫描；S4、碱腐蚀；S5、酸洗。本发明使用激光提升POLO区掺杂浓度实现poly图形化，与产线兼容性好。本发明不用另外印刷或喷涂掩膜，减少了工艺步骤，提高了工艺效率的同时降低了生产成本。本发明的方法通过接触区的P+poly层的硼掺杂浓度提升，减少金属接触时的金属复合和接触电阻，进而大幅提升电池效率。
主权项：1.一种简便高效的双POLO电池结构的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1、正面生长：在硅片正面生长隧穿氧化层和poly层，并进行硼扩散，在正面形成P+poly层；S2、背面生长：在硅片背面生长隧穿氧化层和poly层，并进行磷扩散，在背面形成N+poly层；S3、激光扫描：使用激光局部扫描P+poly层；S4、碱腐蚀：低温碱腐蚀去除P+poly层，其中激光区碱腐蚀速率较小，非激光区碱腐蚀速率较大，待非激光区P+poly层完全腐蚀至隧穿氧化层即停止腐蚀；S5、酸洗：使用氢氟酸酸洗去除暴露的隧穿氧化层，形成具有局部POLO结构的硅片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州时创能源股份有限公司 一种简便高效的双POLO电池结构的制备方法
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