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一种修正光掩模图形位置偏差的设备及方法 

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申请/专利权人:广州新锐光掩模科技有限公司

摘要:本申请提供了一种修正光掩模图形位置偏差的设备及方法,属于光掩模技术领域,具体包括上盖板和下盖板,上盖板和下盖板之间通过上盖板支柱连接,上盖板下侧设有光掩模,光掩模通过光掩模支柱固定于下盖板上,光掩模下侧设有保护膜边框,保护膜边框内设有保护膜,保护膜边框通过保护膜支柱固定于下盖板上,上盖板支柱、光掩模支柱和保护膜支柱均设置为可伸缩结构;保护膜边框的外周设有控制棒,控制棒远离保护膜边框的一端连接有微距控制组件,微距控制组件用于控制控制棒带动保护膜边框进行移动;设备还包括控制系统,与设备内的各个部件连接进行控制。本申请提高了光掩模图形位置准确性和芯片良率。

主权项:1.一种修正光掩模图形位置偏差的设备,其特征在于,包括上盖板和下盖板,所述上盖板和所述下盖板之间通过上盖板支柱连接,所述上盖板下侧设有光掩模,所述光掩模通过光掩模支柱固定于所述下盖板上,所述光掩模下侧设有保护膜边框,所述保护膜边框内设有保护膜,所述保护膜边框通过保护膜支柱固定于所述下盖板上,所述上盖板支柱、所述光掩模支柱和所述保护膜支柱均设置为可伸缩结构;所述保护膜边框的外周设有控制棒,所述控制棒远离所述保护膜边框的一端连接有微距控制组件,所述微距控制组件用于控制所述控制棒带动所述保护膜边框进行移动;所述设备还包括控制系统,所述控制系统与所述设备内的各个部件连接进行控制。

全文数据:

权利要求:

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