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一种高温合金痕量元素近微米级近原位-多模态表征方法 

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申请/专利权人:中国航发北京航空材料研究院

摘要:本发明公开了一种高温合金痕量元素近微米级近原位‑多模态表征方法,属于高温合金痕量元素表征技术领域;解决了现有痕量元素分析方法采用单一检测技术结果直接比对分析,无法协同综合分析同一影响区域内元素分布、价态、组织结构的信息的技术问题。本发明的高温合金痕量元素近微米级近原位‑多模态表征方法包括以下步骤:步骤1、制备样品并获取样品的元素含量及分布三维数据;步骤2、基于SIMS、APT、XPS、SEM和TEM五种微区成分‑组织分析技术对步骤1获得的样品的元素含量及分布三维数据通过插值算法进行尺度匹配;步骤3、基于步骤2中尺度匹配的三维元素含量及组织结构数据,建立可以用于精确评价工艺结果的三维多模态数据模型。

主权项:1.一种高温合金痕量元素近微米级近原位-多模态表征方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、制备样品并获取样品的元素含量及分布三维数据;步骤2、基于SIMS、APT、XPS、SEM和TEM五种微区成分-组织分析技术对步骤1获得的样品的元素含量及分布三维数据通过插值算法进行尺度匹配;步骤3、基于步骤2中尺度匹配的三维元素含量及组织结构数据,建立可以用于精确评价工艺结果的三维多模态数据模型。

全文数据:

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