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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：一种图像传感器包括：基板，具有像素分离凹槽；在基板中的多个光感测元件；以及像素分离区，填充像素分离凹槽，其中像素分离区包括：第一绝缘层，覆盖像素分离凹槽的内壁；第一导电层，在像素分离凹槽内覆盖第一绝缘层的侧表面的至少一部分；第二绝缘层，在由第一导电层限定的内部空间内覆盖第一导电层的侧表面的一部分；以及第二导电层，填充由第一导电层限定的内部空间中未被第二绝缘层填充的空间的全部，并且与第一导电层连接并接触。
主权项：1.一种图像传感器，包括：基板，具有彼此相反的第一表面和第二表面，并且具有从所述第一表面延伸至所述第二表面的像素分离凹槽；在所述基板中的多个光感测元件；以及像素分离区，填充所述像素分离凹槽并且围绕所述多个光感测元件中的每个的至少一部分，所述像素分离区具有在所述多个光感测元件中的彼此面对的相邻光感测元件的侧面之间的窄区域以及在彼此面对的所述相邻光感测元件的边缘之间的宽区域，所述像素分离区包括，第一绝缘层，覆盖所述像素分离凹槽的内壁，第一导电层，在所述像素分离凹槽内覆盖所述第一绝缘层的侧表面的至少一部分，第二绝缘层，在由所述第一导电层限定的内部空间内覆盖所述第一导电层的侧表面的一部分，以及第二导电层，填充由所述第一导电层限定的所述内部空间中未被所述第二绝缘层填充的空间的全部，使得所述第二导电层与所述第一导电层连接并接触。
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