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申请/专利权人：中国地质大学(武汉)
摘要：本发明提供一种模斑转换器设计方法及模斑转换器，涉及集成光子器件技术领域，模斑转换器设计方法包括：获取待优化像素区域对应的第一输出透射率；对待优化像素区域进行光源仿真，确定待优化像素区域内的每个矩形空气柱和每个圆形空气柱的梯度信息；基于所述梯度信息调整所述矩形空气柱的刻蚀边长、旋转角度以及所述圆形空气柱的刻蚀半径，并获取调整后的目标像素区域对应的第二输出透射率；若所述第二输出透射率大于所述第一输出透射率，则重复光源仿真和调整空气柱参数，直至达到预设迭代次数，提高了刻蚀结构的多样性和优化效率，实现了最大化输出光透过率，并且极大的缩小器件的尺寸，提高了器件的集成度和设计精度。
主权项：1.一种模斑转换器设计方法，其特征在于，包括：获取待优化像素区域对应的第一输出透射率；所述待优化像素区域设置有矩形空气柱和圆形空气柱；对所述待优化像素区域进行光源仿真，确定所述待优化像素区域内的每个所述矩形空气柱和每个所述圆形空气柱的梯度信息；基于所述梯度信息调整所述矩形空气柱的刻蚀边长、旋转角度以及所述圆形空气柱的刻蚀半径，并获取调整后的目标像素区域对应的第二输出透射率；若所述第二输出透射率大于所述第一输出透射率，则重复光源仿真和调整空气柱参数，直至达到预设迭代次数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国地质大学(武汉) 一种模斑转换器设计方法及模斑转换器
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