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申请/专利权人：日置电机株式会社
摘要：一种测量装置，具备：第一接触件和第二接触件，被按压向测量对象；基部，安装有第一接触件和第二接触件；驱动机构，驱动基部，将第一接触件和第二接触件按压向测量对象；同轴传输部，传输电信号；以及传输基板，设有包含信号线和接地线的传输线路，将同轴传输部与第一接触件和第二接触件电连接，并且具有柔软性。
主权项：1.一种测量装置，其特征在于，具备：第一接触件和第二接触件，被按压向测量对象，随着被按压向所述测量对象而发生变形；基部，安装有所述第一接触件和所述第二接触件；驱动机构，驱动所述基部，将所述第一接触件和所述第二接触件按压向所述测量对象；同轴传输部，传输电信号；以及传输基板，设有包含信号线和接地线的传输线路，将所述同轴传输部与所述第一接触件和所述第二接触件电连接，并且具有柔软性，所述基部具有：第一基部，安装有所述第一接触件；以及第二基部，安装有所述第二接触件，配置为能够与所述第一基部相互独立地移动，在所述第一基部设有第一施力构件，所述第一施力构件在将所述第一基部按压向所述测量对象的方向上对所述第一基部施力，在所述第二基部设有第二施力构件，所述第二施力构件在将所述第二基部按压向所述测量对象的方向上对所述第二基部施力。
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