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申请/专利权人：研微(江苏)半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，提供一种传输系统、传输腔系统及其控制方法以提升衬底的成膜质量。该传输腔系统包括：传输腔室、冷却单元、升降单元和机械手；所述传输腔室包括底壁、与所述底壁相对的顶壁以及延伸在所述底壁和所述顶壁之间的侧壁；所述侧壁被配置为连通所述工艺腔室或连通所述装载腔室；所述冷却单元、所述升降单元和所述机械手均设于所述传输腔室的内部；所述冷却单元被支撑于所述传输腔室，所述冷却单元被配置为冷却所述衬底，所述升降单元被配置为将所述衬底放置于所述冷却单元或将位于所述冷却单元的所述衬底抬升；所述机械手被配置为在所述装载腔室、所述升降单元以及所述工艺腔室之间转移所述衬底。
主权项：1.一种传输腔系统，用于将衬底在装载腔室和工艺腔室之间进行转移，其特征在于，包括：传输腔室、冷却单元和机械手；所述传输腔室包括底壁、与所述底壁相对的顶壁以及延伸在所述底壁和所述顶壁之间的侧壁；所述侧壁被配置为连通所述工艺腔室或连通所述装载腔室；所述冷却单元和所述机械手均设于所述传输腔室的内部；所述冷却单元被支撑于所述传输腔室，所述冷却单元被配置为冷却所述衬底；所述机械手被配置为在所述装载腔室以及所述工艺腔室之间转移所述衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 研微(江苏)半导体科技有限公司 传输系统、传输腔系统及其控制方法
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