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申请/专利权人：西安工业大学

摘要：本发明公开了光学元件三维检测平台，涉及光学测量领域。包括：待测件夹具，其通过升降连接杆设置在转轴轴承上，所述升降连接杆位于导轨连接板的上方，所述转轴轴承位于所述导轨连接板的下方；升降旋转位移台，其通过二维平移台设置在导轨连接板上，且其上方设置探测器载物台；底板，其一侧上表面设置转轴轴套，所述转轴轴套用于设置所述转轴轴承；其另一侧上表面设置导轨面，所述导轨面上设置包括万向轮的所述导轨连接板。提供了一种用于实现空间扫描，多入射角度、多效能测试的光学元件检测平台。

主权项：1.光学元件三维检测平台，其特征在于，包括：待测件夹具，其通过升降连接杆设置在转轴轴承上，所述升降连接杆位于导轨连接板的上方，所述转轴轴承位于所述导轨连接板的下方；升降旋转位移台，其通过二维平移台设置在导轨连接板上，且其上方设置探测器载物台，所述二维平移台实现X轴和Y轴的水平移动，所述升降旋转位移台实现Z轴的移动和水平方向的旋转；底板，其一侧上表面设置转轴轴套，所述转轴轴套用于设置所述转轴轴承，所述转轴轴承和所述转轴轴套位于所述导轨连接板和所述底板之间；其另一侧上表面设置导轨面，所述导轨面上设置包括万向轮的所述导轨连接板，所述导轨连接板的形状为长方形，其一端贯穿设置所述升降连接杆，通过所述升降连接杆、转轴轴承和转轴轴套固定在所述底板上，其另一端的下方设置万向轮，所述万向轮可在导轨面上滑动，带动所述导轨连接板在所述底板上整体移动；运动控制器，其通过电机驱动器分别控制所述升降旋转位移台和所述二维平移台移动；指针，其设置在所述导轨连接板的下表面，当所述导轨连接板通过万向轮在所述导轨面上移动时，根据指针与所述导轨面上的角度刻度线确定导轨连接板的转动角度；所述光学元件三维检测平台的使用方法为：控制升降旋转位移台旋转，带动设置探测器的探测器载物台旋转，使得探测器靶面与待测光学元件表面平行，随后保持不动；所述运动控制器通过电机驱动器控制所述二维平移台在X轴按照步进距离Δ1，步进次数m，总移动距离l1＝mΔ1移动，完成线状数据采集，此过程记为动作一；所述运动控制器通过电机驱动器控制所述升降旋转位移台在Z轴方向按照步进距离Δ2，步进次数n，总移动距离l2＝nΔ2移动，每移动一次，二维平移台进行动作一，并在下一次移动时将二维平移台沿X轴方向行进距离l1，如此往复，完成面扫描，此过程记为动作二；所述运动控制器通过电机驱动器控制所述二维平移台在Y轴方向按照步进距离Δ3，步进次数k，总移动距离l3＝kΔ3移动，每移动一次，二维平移台进行动作二，并在下一次移动时将二维平移台沿Z轴方向行进距离l2，如此往复，完成空间扫描；通过旋转导轨连接板，可实现不同入射角度的光学元件检测；通过旋转升降旋转位移台，切换探测器，可实现光学元件的多种效能测试。

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