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申请/专利权人:捷捷半导体有限公司
摘要:本申请提供了一种样品固定装置与系统,涉及半导体分析技术领域。所述样品固定装置包括第一夹持组件与第二夹持组件,所述第一夹持组件与所述第二夹持组件相对设置并用于夹持样品;所述第一夹持组件与所述第二夹持组件中至少一个设置有旋转装置,所述旋转装置用于带动所述样品旋转。本申请提供的样品固定装置与系统具有作业过程简单方便、所需的检测时间较短等优点,能够有效地提高样品检测的效率。
主权项:1.一种样品固定装置,其特征在于,所述样品固定装置包括第一夹持组件与第二夹持组件,所述第一夹持组件与所述第二夹持组件相对设置并用于夹持样品;所述第一夹持组件与所述第二夹持组件中至少一个设置有旋转装置,所述旋转装置用于带动所述样品旋转。
全文数据:
权利要求:
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