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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本实用新型属于靶材孔位检测技术领域，公开了一种孔位实装检具，用于靶材孔位检查，孔位实装检具包括检具本体和检具组件，检具本体上设置有安装槽，检具组件包括若干个定位柱，若干个定位柱均设置于安装槽中，且定位柱与靶材的孔位一一对应设置，靶材装设于安装槽中时，定位柱能够穿设于靶材的孔位。本实用新型通过定位柱一一对应穿设靶材的孔位，以对孔位一一进行检测，当每个定位柱均能够顺畅的穿设靶材的孔位，说明该靶材的孔位检测结果合格，反之则不合格，以此能够避免现有技术中三坐标的复杂检测方法，适用于不同靶材且数量众多情况下的孔位检测。
主权项：1.孔位实装检具，用于靶材孔位检查，其特征在于，所述孔位实装检具包括：检具本体10和检具组件20，所述检具本体10上设置有安装槽102，所述检具组件20包括若干个定位柱，若干个所述定位柱均设置于所述安装槽102中，且所述定位柱与所述靶材的孔位一一对应设置，所述靶材装设于所述安装槽102中时，所述定位柱能够穿设于所述靶材的孔位。
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