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申请/专利权人：上海赢朔电子科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的邦头的平衡结构，包括跷跷板结构单元和蛙形结构单元；跷跷板结构单元包括十字形件10、蝎形件20、以及弹性组件30；蛙形结构单元包括蛙形件70；十字形件10包括主体部11、第一翼部12、以及第二翼部13；十字形件10的主体部11的前端用于与吸嘴组件60连接；十字形件10的第一翼部12和第二翼部13均与蝎形件20的蝎头部21活动连接，使得十字形件10的主体部11和蝎形件20的蝎头部21构成一个跷跷板结构。所述平衡结构能够实现吸嘴在靠近以及接触芯片时能够适当缓冲，进而避免吸嘴接触到芯片的瞬间芯片表面留痕或破损，甚至芯片碎裂。

主权项：1.用于转塔式固晶装置的邦头的平衡结构，其特征在于，该平衡结构包括跷跷板结构单元和蛙形结构单元；跷跷板结构单元包括十字形件10、蝎形件20、以及弹性组件30；蛙形结构单元包括蛙形件70；十字形件10包括主体部11、第一翼部12、以及第二翼部13；主体部11呈呈细长条的杆体状；第一翼部12和第二翼部13分别与主体部11的两个侧面固定连接，第一翼部12和第二翼部13对称设置于主体部11的两侧，并且第一翼部12和第二翼部13所在的直线与主体部11相垂直；蝎形件20包括蝎头部21、蝎腹部22、蝎尾部23、第一钳部24、以及第二钳部25，蝎头部21与蝎腹部22的一端固定连接成“T”字型，蝎腹部22的另一端与蝎尾部23固定连接成“L”字型，第一钳部24的里端和第二钳部25的里端分别与蝎头部21的两端固定连接，并且第一钳部24和第二钳部25均位于蝎头部21的背向蝎尾部23的一侧；蝎形件20的第一钳部24与蛙形件70的第一蛙前肢73固定连接，蝎形件20的第二钳部25与蛙形件70的第二蛙前肢74固定连接；蝎形件20的蝎尾部23设置有第十螺纹孔23a，第十螺纹孔23a的延伸方向与蝎腹部22的延伸方向一致；弹性组件30包括调节螺栓31、弹簧固定盖32、以及弹簧33；调节螺栓31包括螺杆部31a和弹簧固定座部31b；弹簧固定座部31b呈圆筒形且内部中空，弹簧固定座部31b的一端封闭且另一端开口；螺杆部31a的一端与弹簧固定座部31b的底部的外表面的中心位置固定连接；调节螺栓31的螺杆部31a的另一端的外螺纹与蝎形件20的蝎尾部23的第十螺纹孔23a的内螺纹相互啮合而实现螺纹连接；弹簧固定盖32的一面设置有一个U形的第一凹槽32a，与之相对的另一个面设置有一个圆形的凹坑32b；十字形件10的主体部11后端固定连接于弹簧固定盖32的第一凹槽32a中；弹簧33的一端抵接于弹簧固定盖32的凹坑32b的内底面，弹簧33的另一端抵接于调节螺栓31的弹簧固定座部31b的内底面，通过旋转调节螺栓31能够调节弹簧33的长度；蛙形件70包括蛙身部71、蛙头部72、第一蛙前肢73、第二蛙前肢74、第一蛙后肢75、以及第二蛙后肢76；蛙身部71整体呈长方形板体状，蛙身部71的相对的两个面分别为腹面和背面；第一蛙前肢73、第二蛙前肢74、第一蛙后肢75和第二蛙后肢76均呈L形；蛙身部71的一端与蛙头部72固定连接，蛙身部71的靠近蛙头部72一端的两侧面分别固定设置有第一蛙前肢73和第二蛙前肢74，第一蛙前肢73和第二蛙前肢74对称设置成环抱状；蛙身部71的远离蛙头部72一端的两侧面分别固定设置有第一蛙后肢75和第二蛙后肢76，第一蛙后肢75和第二蛙后肢76对称设置成环抱状；第一蛙前肢73、第二蛙前肢74、第一蛙后肢75和第二蛙后肢76均向蛙身部71的腹面一侧延伸；十字形件10的主体部11的前端用于与吸嘴组件60连接；十字形件10的第一翼部12和第二翼部13均与蝎形件20的蝎头部21活动连接，使得十字形件10的主体部11和蝎形件20的蝎头部21构成一个跷跷板结构。

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