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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请提供一种MEMS恒温振荡器及温度补偿的方法，MEMS恒温振荡器包括封装结构、ASIC电路芯片以及MEMS谐振器芯片，封装结构包括封装基板和封装外壳，ASIC电路芯片以及MEMS谐振器芯片依次堆叠于封装基板上，MEMS谐振器芯片包括第一谐振子、第二谐振子以及第三谐振子，第一谐振子与第二谐振子构成用于获取两者频差信息的测温结构，温度测量电路用于根据频差信息提取器件的温度信息，第一谐振子具有负线性频率温度曲线和正线性频率温度曲线中的一者，第二谐振子具有负线性频率温度曲线和正线性频率温度曲线中的另一者，第三谐振子具有带温度拐点的频率温度曲线，以提高器件输出频率的精度。
主权项：1.一种MEMS恒温振荡器，其特征在于，包括封装结构、ASIC电路芯片以及MEMS谐振器芯片，所述封装结构包括封装基板和封装外壳，所述ASIC电路芯片以及所述MEMS谐振器芯片依次堆叠于所述封装基板上，所述封装外壳覆盖所述ASIC电路芯片、所述MEMS谐振器芯片以及至少部分所述封装基板，其中，所述MEMS谐振器芯片包括间隔设置的第一谐振子、第二谐振子以及第三谐振子，所述第一谐振子与所述第二谐振子构成测温结构，所述测温结构用于获取所述第一谐振子生成的第一频率输出信号与所述第二谐振子生成的第二频率输出信号的频差信息，所述ASIC电路芯片包括温度测量电路，所述温度测量电路用于根据所述频差信息提取所述MEMS谐振器芯片的温度信息，所述第一谐振子具有负线性频率温度曲线和正线性频率温度曲线中的一者，所述第二谐振子具有负线性频率温度曲线和正线性频率温度曲线中的另一者，所述第三谐振子具有带温度拐点的频率温度曲线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 一种MEMS恒温振荡器及温度补偿方法
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