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申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要：本发明涉及射频电源技术领域，尤其涉及一种射频电源点火控制方法及系统，该方法应用于包括功率放大器的射频电源，所述方法包括：控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载或输入负载，以使所述腔室负载中的气体过冲点火；在所述气体点火成功后，控制所述功率放大器输出预设目标功率范围内的恒定功率信号至所述腔室负载或输入负载。本发明通过控制功率放大器输出超过目标功率的功率信号到腔室负载或输入负载，实现了气体过冲点火。一旦点火成功，它会调节功率放大器输出恒定功率信号，以保持在预设目标功率范围内，从而解决了点火成功率低的问题。
主权项：1.一种射频电源点火控制方法，其特征在于，应用于包括功率放大器的射频电源，所述方法包括：控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载或输入负载，以使所述腔室负载中的气体过冲点火；在所述气体点火成功后，控制所述功率放大器输出预设目标功率范围内的恒定功率信号至所述腔室负载或输入负载。
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权利要求：
百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 射频电源点火控制方法及系统
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