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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：一种注入器，被构造成放置在批处理炉组件的处理室，用于将气体注入到所述处理室中。注入器具有包围注入室的细长的管状壳体。壳体具有：气体入口，用于将气体从气体源供应到注入室；至少一个气体供应口，用于将气体从注入室供应到处理室；和周向壁，在壳体的纵向方向上延伸。周向壁包括第一侧壁半部和第二侧壁半部。两个侧壁半部在纵向方向上基本上跨壳体的长度。第一侧壁半部和第二侧壁半部通过机械紧固彼此紧固。
主权项：1.一种构造成放置在批处理炉组件90的处理室92中以将气体注入所述处理室92中的注入器10，所述注入器10包括包围注入室12的细长的管状的壳体18、20、22、24，其中所述壳体18、20、22、24包括：气体入口14，用于从气体源94向所述注入室12供应气体；至少一个气体供应口16，用于将气体从所述注入室12供应到所述处理室92中；和沿所述壳体18、20、22、24的纵向方向延伸的周向壁18、20，所述周向壁包括第一侧壁半部18和第二侧壁半部20，两个侧壁半部18、20在纵向方向上跨所述壳体18、20、22、24的长度，其中，所述第一侧壁半部18和所述第二侧壁半部20通过机械紧固而不用粘合剂而紧固到彼此，所述第一侧壁半部18具有构造成与所述第二侧壁半部20的第一接合表面38接合的第一接合表面34，并且其中所述第一侧壁半部18具有被构造成与所述第二侧壁半部20的第二接合表面40接合的第二接合表面36，其中所述第一接合表面34、38和所述第二接合表面36具有匹配表面，其中所述第一侧壁半部18和所述第二侧壁半部20的第一接合表面34限定了在垂直于所述壳体18、20、22、24的纵向方向延伸的横截面平面42中的第一横截面轮廓线44，其中，所述第一侧壁半部18和所述第二侧壁半部20的第二接合表面36限定了在所述横截面平面42中的第二横截面轮廓线46，且所述第一横截面轮廓线44具有Z形，其中所述第二横截面轮廓线46具有Z形。
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百度查询： ASMIP私人控股有限公司 注入器
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