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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种用于在真空腔室中非接触地保持及移动载体的磁悬浮系统，包括底座，界定传送轨道；载体，沿着传送轨道在底座的上方是可移动的；以及至少一个磁性轴承，用于在底座及载体之间产生磁悬浮力。所述至少一个磁性轴承包括布置于底座的第一磁体单元及布置于载体的第二磁体单元。磁悬浮系统更包括磁性侧向稳定装置，用于在侧向方向中稳定载体，磁性侧向稳定装置包括布置于底座的稳定磁体单元；其中第一磁体单元及稳定磁体单元的至少一者布置在底座的壳体空间中，壳体空间通过分隔壁与真空腔室的内部容积分隔。
主权项：1.一种磁悬浮系统100，用于在真空腔室1中非接触地保持及移动载体103，所述磁悬浮系统包括：底座101，界定传送轨道102；载体103，沿着所述传送轨道102在所述底座101的上方并相对于所述底座101是可移动的；至少一个磁性轴承104，用于在所述底座101及所述载体103之间产生磁悬浮力F，所述至少一个磁性轴承104包括布置于所述底座101的第一磁体单元105及布置于所述载体103的第二磁体单元108；以及磁性侧向稳定装置109，用于在侧向方向中稳定所述载体103，所述磁性侧向稳定装置109包括布置于所述底座101的稳定磁体单元106；其中所述稳定磁体单元106布置在所述底座101的壳体空间1011中，所述壳体空间1011通过分隔壁107与所述真空腔室1的内部容积10分隔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 磁悬浮系统、磁悬浮系统的底座、真空系统、及在真空腔室中非接触地保持及移动载体的方法
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