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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
摘要：本实用新型公开一种真空吸附装置，属于晶圆加工设备的技术领域，真空吸附装置包括基座、转轴、轴承组，以及油封。基座开设有轴孔和第一气孔，至少部分转轴转动式安装于轴孔内，转轴开设有第二气孔和注油孔，轴承组套装在转轴并位于轴孔内，油封套装在转轴并位于轴孔内，转轴具有吸附面和外周侧面，转轴的外周侧面与轴孔的内壁共同围合形成沿着转轴的轴线周向延伸的环腔，第一气孔的一端与环腔连通，第一气孔的另一端与基座的外部连通，第二气孔的一端与环腔连通，第二气孔的另一端位于吸附面上，油封与转轴的外周侧面共同围合形成油腔，油腔与注油孔连通。本实用新型不仅转速高，而且发热量和磨损小。
主权项：1.一种真空吸附装置，其特征在于，包括：基座11，开设有轴孔111和第一气孔112；转轴12，至少部分转动式安装于所述轴孔111内；所述转轴12开设有第二气孔121和注油孔122；轴承组，套装在所述转轴12并位于轴孔111内；以及油封13，套装在所述转轴12并位于所述轴孔111内；所述转轴12具有吸附面123和外周侧面124，所述转轴12的外周侧面124与所述轴孔111的内壁共同围合形成沿着所述转轴12的轴线周向延伸的环腔22，所述第一气孔112的一端与所述环腔22连通，所述第一气孔112的另一端与所述基座11的外部连通，所述第二气孔121的一端与所述环腔22连通，所述第二气孔121的另一端位于所述吸附面123上；所述油封13与所述转轴12的外周侧面124共同围合形成油腔23，所述油腔23与所述注油孔122连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 真空吸附装置
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