首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

真空泵装置及真空镀膜设备 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:光驰科技(上海)有限公司

摘要:本实用新型提供了真空泵装置及真空镀膜设备。该真空泵装置,多个真空泵本体的泵体间隔分布且均设置于阀体;驱动件固定设置于阀体;驱动轴与驱动件的输出轴传动连接,且转动连接于阀体;多个驱动臂沿驱动轴的轴向间隔分布且均固定套设于驱动轴;多个真空泵本体的泵盖独立设置,多个真空泵本体的泵盖与多个驱动臂一一对应设置,驱动臂的输出端与泵盖传动连接;驱动件能带动驱动臂绕驱动轴的中心轴线转动,以使泵盖具有盖合于泵体的开口处的第一工作状态,以及远离泵体的第二工作状态。能够有效降低泵盖装拆于驱动臂的装拆难度,方便后期维护;能够有效提升多个真空泵本体协同工作的可靠性;且能够有效节省同步驱动多个真空泵本体的泵盖的驱动成本。

主权项:1.真空泵装置,包括阀体130和多个真空泵本体,所述真空泵本体包括泵体,以及能盖合于所述泵体的开口111处的泵盖,多个所述真空泵本体的泵体间隔分布且均设置于阀体130,其特征在于,所述真空泵装置还包括驱动装置,所述驱动装置包括:固定设置于所述阀体130的驱动件81;驱动轴82,所述驱动轴82与所述驱动件81的输出轴传动连接,且转动连接于所述阀体130;多个驱动臂83,多个所述驱动臂83沿所述驱动轴82的轴向间隔分布且均固定套设于所述驱动轴82;多个所述真空泵本体的泵盖独立设置,多个所述真空泵本体的泵盖与多个所述驱动臂83一一对应设置,所述驱动臂83的输出端与所述泵盖传动连接;所述驱动件81能带动所述驱动臂83绕所述驱动轴82的中心轴线转动,以使所述泵盖具有盖合于所述泵体的开口111处的第一工作状态,以及远离所述泵体的第二工作状态。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 光驰科技(上海)有限公司 真空泵装置及真空镀膜设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。