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监测方法、监测系统及真空泵 

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申请/专利权人:北京通嘉宏瑞科技有限公司

摘要:本发明涉及监测技术领域,提供一种监测方法、监测系统及真空泵。该监测方法包括:获取转轴的轴向位移参数;将轴向位移参数与设定的位移报警阈值进行比较;响应于轴向位移参数大于等于位移报警阈值,进行报警。由此,可以对真空泵的转轴的轴向间隙进行实时监测,以改善真空泵的转轴因轴向间隙过小而造成真空泵卡泵的技术问题。

主权项:1.一种监测方法,用于监测真空泵的转轴的轴向位移量,其特征在于,包括:获取所述转轴的轴向位移参数;将所述轴向位移参数与设定的位移报警阈值进行比较;响应于所述轴向位移参数大于等于所述位移报警阈值,进行报警。

全文数据:

权利要求:

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