龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜设备包括搬运室、镀膜室和搬送机构，搬运室内设有基板装载架，基板装载架包括公转架和设于公转架周向的多个自转架，自转架的周向设置有多个装载位，装载位用于设置基板，多个基板的镀膜表面朝内围设于自转架的外周面。镀膜架设于镀膜室内，镀膜架上沿周向设置有多个安装位，安装位用于安装基板；真空门设于搬运室和镀膜室之间。搬送机构能将基板从装载位移动至安装位，以使基板的镀膜表面朝外挂设于安装位。该真空镀膜设备，在搬运室和镀膜室之间搬运基板时，无需翻转等其他搬运动作，提高了搬运效率，而且降低了镀膜层不良的概率，提高了镀膜产品良率。
主权项：1.真空镀膜设备，其特征在于，包括：搬运室1，所述搬运室1内设有基板装载架2，所述基板装载架2包括公转架和设于所述公转架周向的多个自转架，所述自转架的周向设置有多个装载位，所述装载位用于设置基板100，多个所述基板100的镀膜表面朝内围设于所述自转架的外周面；镀膜室3，包括镀膜架33和真空门，所述镀膜架33设于所述镀膜室3内，所述镀膜架33上沿周向设置有多个安装位，所述安装位用于安装所述基板100；所述真空门设于所述搬运室1和所述镀膜室3之间，用于分隔或连通所述搬运室1和所述镀膜室3；搬送机构4，所述搬送机构4能将所述基板100从所述装载位移动至所述安装位，以使所述基板100的镀膜表面朝外挂设于所述安装位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 真空镀膜设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号