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申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种基板装载架及真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。该基板装载架包括公转架和自转架，公转架包括第一驱动件和公转盘，第一驱动件与公转盘连接，用于驱动公转盘转动。公转盘的周向间隔设有多个自转架，自转架包括第二驱动件和自转盘，自转盘通过连接机构与公转盘连接，第二驱动件能驱动自转盘自转。自转盘的周向设有多个装载位，装载位用于设置基板，多个基板被装载后能围设于自转盘的外周面。该基板装载架能够减少基板上掉落的颗粒，降低镀膜层的不良率，进而提高了镀膜产品良率。
主权项：1.基板装载架，其特征在于，包括：公转架1，所述公转架1包括第一驱动件11和公转盘，所述第一驱动件11与所述公转盘连接，用于驱动所述公转盘转动；自转架2，所述公转盘的周向间隔设有多个所述自转架2，所述自转架2包括第二驱动件和自转盘，所述自转盘通过连接机构与所述公转盘连接，所述第二驱动件能驱动所述自转盘自转；所述自转盘的周向设有多个装载位，所述装载位用于设置基板300，且多个所述基板300被装载后能围设于所述自转盘的外周面。
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