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一种氧化锆氮气干燥处理设备 

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申请/专利权人:合肥升利微电子科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种氧化锆氮气干燥处理设备,涉及氮气干燥技术领域。该氧化锆氮气干燥处理设备,包括箱体;安装门,所述安装门位于箱体的前侧并和箱体铰接连接,箱体的一侧固定连接有壳体,壳体的前侧铰接安装有铰接门;处理结构,所述处理结构位于壳体的内部,处理结构为两组且分别位于壳体的内侧顶部和内侧底部,处理结构包括安装座、第一弹簧、第一滑块、第一卡槽、第一卡块、第二弹簧、第二滑块、第二卡槽、第二卡块和支杆,壳体的一侧外壁法兰连接有进气管道,进气管道贯穿壳体和箱体连通设置。该装置用过滤层可吸附气体中的杂质,而干燥层可吸附气体中的水分,这样可大大减小气体内杂质以及水分对干燥的影响,保障了物件干燥的效果。

主权项:1.一种氧化锆氮气干燥处理设备,其特征在于,包括:箱体(1);安装门(2),所述安装门(2)位于箱体(1)的前侧并和箱体(1)铰接连接,箱体(1)的一侧固定连接有壳体(4),壳体(4)的前侧铰接安装有铰接门(7);处理结构(10),所述处理结构(10)位于壳体(4)的内部,处理结构(10)为两组且分别位于壳体(4)的内侧顶部和内侧底部,处理结构(10)包括安装座(1001)、第一弹簧(1002)、第一滑块(1003)、第一卡槽(1004)、第一卡块(1005)、第二弹簧(1006)、第二滑块(1007)、第二卡槽(1008)、第二卡块(1009)和支杆(1010),壳体(4)的一侧外壁法兰连接有进气管道(5),进气管道(5)贯穿壳体(4)和箱体(1)连通设置,箱体(1)的另一侧外壁法兰安装有出气管道(6),壳体(4)的内部设置有干燥层(8)和过滤层(9),干燥层(8)和过滤层(9)为贴合设置。

全文数据:

权利要求:

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