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用于感应式位置测量装置的标度元件 

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申请/专利权人:约翰内斯.海德汉博士有限公司

摘要:本发明涉及用于感应式位置测量装置的标度元件,该标度元件2具有基板2.1,在基板上布置有分度轨道2.2。由交替布置的导电分度区域2.21和非导电分度区域2.22的周期序列沿测量方向x形成分度轨道2.2,由导电材料构成的层分别形成导电分度区域2.21。在基板2.1中布置有至少一个钻孔2.11,钻孔用于将标度元件2固定在机器部件处。导电分度区域2.21各自具有开口2.211,导电材料包围开口2.211。至少在导电分度区域2.21之一中,钻孔2.11穿过开口2.211布置在基板2.1中。

主权项:1.一种用于感应式位置测量装置的标度元件2,所述标度元件具有基板2.1,在所述基板上布置有分度轨道2.2,其中,由交替布置的导电分度区域2.21和非导电分度区域2.22的周期序列沿测量方向x形成所述分度轨道2.2,其中,由导电材料构成的层分别形成所述导电分度区域2.21,在所述基板2.1中布置有用于将所述标度元件2固定在机器部件处的至少一个钻孔2.11,其特征在于,所述导电分度区域2.21各自具有开口2.211,其中,所述导电材料包围所述开口2.211,其中,至少在所述导电分度区域2.21之一中,至少一个所述钻孔2.11穿过所述开口2.211布置在所述基板2.1中。

全文数据:

权利要求:

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