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申请/专利权人：国科大杭州高等研究院
摘要：本发明的一种用于高精度温度指标黑体上温度误差自矫正系统，其包括测温模块和X‑Y‑Z三轴移动模块，通过各通道的黑体与外界环境温度接触的测温点的个数不同，将各通道的黑体分为三类，并对三类黑体的不同测温点赋予不同的权重分布值，通过温度值加权算法获得大面源黑体的各通道的使用面的修正温度值，并采用该修正温度值计算各通道的前后表面温差，以此计算温度补偿值。本发明的一种用于高精度温度指标黑体上温度误差自矫正系统，对各测温点测温精度高且通过温度值加权算法获取的温度补偿值利于提升大黑体面源的温度均匀性。
主权项：1.一种用于高精度温度指标黑体上温度误差自矫正系统，其特征在于：包括测温模块和X-Y-Z三轴移动模块，测温模块，包括双PT1000温度传感器，通过接触式测温获得双点温度数据；X-Y-Z三轴移动模块驱动测温模块，沿着预设的S型路径对多路温控的各通道的黑体进行多点多次温度测量，测得各通道的黑体的各测温点的温度；通过各通道的黑体与外界环境温度接触的测温点的个数不同，将各通道的黑体分为三类，并对三类黑体的不同测温点赋予不同的权重分布值，通过温度值加权算法获得大面源黑体的各通道的使用面的修正温度值，并采用该修正温度值计算各通道的前后表面温差，以此计算温度补偿值。
全文数据：
权利要求：
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