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申请/专利权人:苏州科韵激光科技有限公司;绵阳科韵激光科技有限公司
摘要:本申请公开一种真空载物装置、载物系统和使用方法,真空载物装置包括载台,所述载台是中空腔体结构,所述载台顶部设有多个真空孔,所述载台内部的所述真空孔下方设有电控阀门,所述真空孔与待吸附构件紧密贴合,所述载台底部设有沉孔;多个自动防漏气塞,所述自动防漏气塞安装在所述沉孔中,并在所述沉孔中上下活动,所述自动防漏气塞上下活动时与所述沉孔的孔壁紧密贴合;多个吸气装置,所述吸气装置包括真空吸嘴,所述真空吸嘴与所述沉孔的外侧边缘密闭贴合。本申请解决了载台上待吸附构件在未被污染损坏的前提下提高待吸附构件的转移效率并提高产品生产效率的技术问题。
主权项:1.一种真空载物装置,其特征在于,所述真空载物装置用于承载待吸附构件,包括:载台,所述载台是中空腔体结构,所述载台顶部设有多个真空孔,所述载台内部的所述真空孔下方设有电控阀门,所述真空孔与待吸附构件紧密贴合,所述载台底部设有多个沉孔;多个自动防漏气塞,所述自动防漏气塞安装在所述沉孔中,并在所述沉孔中上下活动,所述自动防漏气塞上下活动时与所述沉孔的孔壁紧密贴合;多个吸气装置,所述吸气装置包括真空吸嘴,所述真空吸嘴与所述沉孔的外侧边缘密闭贴合。
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