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申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体生产领域，特别是涉及一种晶圆载盘载具，包括载具柜体及多个滚珠固定板；多个所述滚珠固定板将所述载具柜体分隔为多个载盘隔间；所述滚珠固定板包括基座凹槽及嵌在所述基座凹槽内的滚珠；所述滚珠在所述滚珠固定板上阵列排布；晶圆载盘放置于所述载盘隔间内，与所述滚珠固定板上凸出所述基座凹槽的滚珠接触。本实用新型利用滚珠排布成阵列，使晶圆载盘可以在所述载盘隔间的滚珠固定板上任意移动，免去了装载晶圆载盘时的对准步骤，大大提升了装载效率，进而提升了晶圆载盘载具的生产效率。
主权项：1.一种晶圆载盘载具，其特征在于，包括载具柜体及多个滚珠固定板；多个所述滚珠固定板将所述载具柜体分隔为多个载盘隔间；所述滚珠固定板包括基座凹槽及嵌在所述基座凹槽内的滚珠；所述滚珠在所述滚珠固定板上阵列排布；晶圆载盘放置于所述载盘隔间内，与所述滚珠固定板上凸出所述基座凹槽的滚珠接触。
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权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种晶圆载盘载具
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