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申请/专利权人:东莞新科技术研究开发有限公司
摘要:本发明公开了一种无尘镊子的制作方法,包括:采用离子束刻蚀方法对待镀膜的镊子的表面进行清洗;在清洗后的镊子的表面沉积形成C涂层;在所述C涂层的表面沉积形成DLC涂层,获得无尘镊子。采用本发明的技术方案能够解决现有的镊子在使用时容易产生碎屑的问题,通过使用无尘镊子,能够避免产生碎屑,从而避免形成粉尘,造成污染,使得半导体作业环境中的无尘度保持在每平方米有2~3粒粉尘的标准级别,进而不影响半导体产品的后续使用。
主权项:1.一种无尘镊子的制作方法,其特征在于,包括:采用离子束刻蚀方法对待镀膜的镊子的表面进行清洗;在清洗后的镊子的表面沉积形成C涂层;在所述C涂层的表面沉积形成DLC涂层,获得无尘镊子。
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百度查询: 东莞新科技术研究开发有限公司 一种无尘镊子的制作方法
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