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一种高纯金银钯铂合金键合引线及其制备方法 

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申请/专利权人:江西蓝微电子科技有限公司

摘要:本发明公开了一种高纯金银钯铂合金键合引线及其制备方法,涉及到合金材料技术领域,按重量百分比包含金4‑7%、银85‑94%、钯3‑4%以及铂1‑2%。本发明在实际实施时无需设置配套水冷,降低设备成本的同时,可以对冷却过程中产生的余热进行回收再利用,使得第一批次原料机械混合效果更加理想的同时并进一步缩短工艺所需时间,提高生产效率的同时更加节能环保。

主权项:1.一种高纯金银钯铂合金键合引线的制备方法,其特征在于:所述高纯金银钯铂合金键合引线按重量百分比包含金4-7%、银85-94%、钯3-4%以及铂1-2%,所述方法使用预热式制备装置实现,所述预热式制备装置包括设备箱(1),所述设备箱(1)顶部设置有真空熔炼机构(2)与预热式机械混合机构(3),所述预热式机械混合机构(3)位于真空熔炼机构(2)左侧,所述真空熔炼机构(2)对第一批次物料以及第二批次物料进行熔炼,所述预热式机械混合机构(3)中的第一液压缸(33)带动压板(32)对第一批次物料进行加压混合,所述设备箱(1)内部设置有浇铸机构(4)与余热利用机构(5),所述真空熔炼机构(2)中的金属液输出管(25)将熔炼后的金属液输入到浇铸机构(4)内部进行冷却成型,所述余热利用机构(5)将空气输入至浇铸机构(4)内部,对浇铸机构(4)进行降温,同时使热空气输入至预热式机械混合机构(3),进而对预热式机械混合机构(3)内部的第一批次物料进行预热,所述真空熔炼机构(2)顶部设置有预热式进料机构(6)以及真空熔炼机构(2)左侧顶部设置有定时给料机构(7),所述预热式进料机构(6)中的进气管(66)接收余热利用机构(5)所产生的热风,进而对放置于预热式进料机构(6)中料斗(63)左侧腔室的第二批次物料进行预热,所述定时给料机构(7)中的叶轮(76)在余热利用机构(5)产生的热风的驱动下,带动预热式进料机构(6)中的阻隔横板(68)往复左右移动,进而完成第二批次物料的自动下料;所述真空熔炼机构(2)包括真空熔炼炉(21)、中频感应加热装置(22)、放置板(23)、坩埚(24)、金属液输出管(25)、下料通道(26)和电磁阀(27);所述真空熔炼炉(21)与中频感应加热装置(22)均固定设置于设备箱(1)顶部,所述中频感应加热装置(22)位于真空熔炼炉(21)右侧,所述放置板(23)固定设置于真空熔炼炉(21)内部,所述坩埚(24)固定设置于放置板(23)顶部,所述金属液输出管(25)固定贯穿设置于坩埚(24)底部并贯穿真空熔炼炉(21)内壁并延伸至浇铸机构(4)正上方,所述下料通道(26)固定贯穿设置于真空熔炼炉(21)内腔顶部,所述电磁阀(27)设置有两个,两个所述电磁阀(27)分别设置于金属液输出管(25)以及下料通道(26)上;所述预热式机械混合机构(3)包括第一壳体(31)、压板(32)、第一液压缸(33)、金属承载板(34)、弹性件(35)、第一封堵块(36)、密封前板(37)、升降横杆(38)和第二封堵块(39);所述第一壳体(31)固定设置于设备箱(1)顶部,所述压板(32)滑动设置于第一壳体(31)内侧顶部,所述第一液压缸(33)固定设置于第一壳体(31)顶部,且其输出轴贯穿第一壳体(31)顶部并延伸至第一壳体(31)内部与压板(32)固定连接,所述金属承载板(34)滑动设置于第一壳体(31)内侧底部,所述弹性件(35)设置有两个,两个所述弹性件(35)分别固定设置于金属承载板(34)底部两侧,且均与第一壳体(31)内壁固定连接,所述弹性件(35)设置为弹簧,所述第一封堵块(36)固定设置于金属承载板(34)底部,且对余热利用机构(5)中的热空气分流管(54)的一个输出端进行封堵,所述密封前板(37)固定设置于第一壳体(31)开口处内侧底部,所述升降横杆(38)固定设置于金属承载板(34)左侧,且贯穿第一壳体(31)并延伸至第一壳体(31)外侧,所述第二封堵块(39)固定设置于升降横杆(38)左端;所述浇铸机构(4)包括底板(41)、定模(42)、侧板(43)、动模(44)和第二液压缸(45);所述底板(41)固定设置于设备箱(1)内腔底部,所述定模(42)固定设置于底板(41)顶部右侧,所述侧板(43)固定设置于底板(41)顶部左侧,所述动模(44)位于定模(42)左侧,且与底板(41)滑动连接,所述第二液压缸(45)固定设置于侧板(43)左侧,且其输出轴贯穿侧板(43)并与动模(44)固定连接;所述余热利用机构(5)包括抽真空管(51)、真空泵(52)、散热通道(53)、热空气分流管(54)、第二壳体(55)和热空气导流管(56);所述散热通道(53)设置有两个,两个所述散热通道(53)水平方向上共线设置,且分别开设于定模(42)与动模(44)上,所述抽真空管(51)一端与预热式进料机构(6)中的顶罩(61)连接以及另一端与位于右侧的散热通道(53)连接,所述真空泵(52)设置于抽真空管(51)上,所述热空气分流管(54)与位于左侧的散热通道(53)连接,所述热空气分流管(54)的一个输出端贯穿第一壳体(31)并延伸至第一壳体(31)内腔底部,所述第二壳体(55)固定套接设置于热空气分流管(54)的另一个输出端外侧,所述热空气导流管(56)固定贯穿设置于第二壳体(55)顶部,且其顶端与定时给料机构(7)中的侧罩(73)连接;所述预热式进料机构(6)包括顶罩(61)、密封门(62)、料斗(63)、中间隔板(64)、预热腔(65)、进气管(66)、排气管(67)和阻隔横板(68);所述顶罩(61)固定设置于真空熔炼炉(21)顶部,所述密封门(62)通过合页转动设置于顶罩(61)顶部,所述料斗(63)位于顶罩(61)内部且与真空熔炼炉(21)固定连接,所述中间隔板(64)固定设置于料斗(63)内侧,所述预热腔(65)开设于料斗(63)内部左侧,所述进气管(66)右端与排气管(67)右端均与预热腔(65)连通,且进气管(66)与排气管(67)均贯穿顶罩(61)并延伸至顶罩(61)外部,所述进气管(66)左端贯穿定时给料机构(7)中的第三壳体(72)并与其固定连接,所述阻隔横板(68)滑动嵌套设置于料斗(63)左侧底部;所述定时给料机构(7)包括安装座(71)、第三壳体(72)、侧罩(73)、气孔(74)、往复丝杆(75)和叶轮(76);所述安装座(71)固定设置于真空熔炼炉(21)左侧顶部,所述第三壳体(72)与侧罩(73)均固定设置于安装座(71)顶部,且侧罩(73)固定设置于第三壳体(72)左侧,所述气孔(74)设置有多个,多个所述气孔(74)均匀开设于第三壳体(72)左侧壁上,所述往复丝杆(75)通过轴承转动嵌套设置于第三壳体(72)右侧壁上,且其右端贯穿顶罩(61)左侧壁并延伸至顶罩(61)内部与阻隔横板(68)螺纹连接,所述叶轮(76)位于第三壳体(72)内部且固定套接设置于往复丝杆(75)外侧左端;所述方法具体包括以下步骤:S1、原料添加:在上一加工步骤所产生的金属液出料的过程中,将第一批次物料堆叠放置在金属承载板(34)顶部,将第二批次物料放入料斗(63)左侧腔室中,此时第一批次物料通过金属承载板(34)对弹性件(35)进行施压,金属承载板(34)通过升降横杆(38)带动第二封堵块(39)下降,此时热空气分流管(54)位于第一壳体(31)内部的输出端开启,热空气分流管(54)位于第二壳体(55)内部的输出端被封堵;S2、余热利用以及第一批次物料预热:启动真空泵(52),真空泵(52)通过抽真空管(51)抽取顶罩(61)内部的空气,空气在进入散热通道(53)与定模(42)以及动模(44)进行换热,此时定模(42)与动模(44)降温,定模(42)与动模(44)内部的上一加工步骤所产生的金属液被逐渐冷却为铸锭,空气则在升温后通过热空气分流管(54)输送到第一壳体(31)内腔底部,进而通过金属承载板(34)对其顶部的第一批次物料进行预热,同时在预热过程中,使得第一液压缸(33)带动压板(32)下降,进而对第一批次物料进行挤压混合;S3、第一批次物料熔炼:第一批次物料挤压混合完毕后,将其由金属承载板(34)顶部取下并放入到料斗(63)右侧腔室中,随后将密封门(62)关闭,随着真空泵(52)的继续抽取,顶罩(61)内部恢复真空状态,此时将电磁阀(27)打开,位于料斗(63)右侧腔室的第一批次物料通过下料通道(26)落入到坩埚(24)中,此时启动中频感应加热装置(22),中频感应加热装置(22)启动后对坩埚(24)进行加热,进而对第一批次物料进行熔炼;S4、第二批次物料预热以及熔炼:在将第一批次物料由金属承载板(34)顶部取下时,此时在弹性件(35)的推动下,金属承载板(34)带动第一封堵块(36)对热空气分流管(54)位于第一壳体(31)内部的输出端进行封堵,并解除第一封堵块(36)对热空气分流管(54)位于第二壳体(55)内部输出端的封堵,热空气由热空气分流管(54)位于第二壳体(55)内部的输出端输出,然后通过热空气导流管(56)进入到侧罩(73)中,然后通过多个气孔(74)带动第三壳体(72)内部的叶轮(76)旋转,进而使往复丝杆(75)开始带动阻隔横板(68)向左移动,同时热空气进入到第三壳体(72)内部后会通过往复丝杆(75)进入到预热腔(65)中,进而对料斗(63)进行加热,使得料斗(63)对其左侧腔室中的第二批次物料进行预热,随着阻隔横板(68)的不断移动,预热完成后的第二批次物料落入到坩埚(24)中与第一批次物料熔炼所产生的金属液混合,并再次被熔炼;S5、铸锭取出:在第二批次物料熔炼的过程中,使第二液压缸(45)带动动模(44)左移,进而将位于定模(42)与动模(44)之间的上一加工步骤所产生金属液冷却形成的铸锭取出,并完成下一加工步骤中所需的第一批次物料和第二批次物料的上料;S6、铸锭精拔、退火、酸洗以及水洗:将合金铸锭精拔为合金杆,并对其进行热退火处理,热退火完成后,使用酸洗溶液进行清洗,并在清洗完成后,再使用去离子水进行清洗;所述第一批次物料包括上述原料中的金、钯和总量银的四分之三,所述第二批次物料包括上述原料中的铂以及余下的银。

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