龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：芯钛科半导体设备(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆吸附结构及晶圆吸附手指，属于晶圆固定技术领域，晶圆吸附结构包括基体，所述基体上开设有吸附口和吸气口，所述吸气口用于连接吸气设备，所述基体的内部设置有用于连通所述吸附口与所述吸气口的气流通道；其中，所述吸附口处设有吸盘，所述吸盘上开设有穿孔，螺钉在穿过所述吸盘上的穿孔后螺纹连接在所述吸附口中，且所述螺钉凹陷于所述吸盘的表面，所述螺钉上还开设有与所述吸附口相连通的通气孔，所述吸盘与所述吸附口之间还设置有垫片。本实用新型结构简单且设计合理，不但能够在吸附翘曲晶圆时省去破真空操作，而且吸盘方便拆装。
主权项：1.一种晶圆吸附结构，其特征在于：包括基体，所述基体上开设有吸附口和吸气口，所述吸气口用于连接吸气设备，所述基体的内部设置有用于连通所述吸附口与所述吸气口的气流通道；其中，所述吸附口处设有吸盘，所述吸盘上开设有穿孔，螺钉在穿过所述吸盘上的穿孔后螺纹连接在所述吸附口中，且所述螺钉凹陷于所述吸盘的表面，所述螺钉上还开设有与所述吸附口相连通的通气孔，所述吸盘与所述吸附口之间还设置有垫片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯钛科半导体设备(上海)有限公司 一种晶圆吸附结构及晶圆吸附手指
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号