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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：本发明涉及一种结实的声波谐振器设备，所述声波谐振器设备具有由固体衬底支撑的压电板。所述设备包括：衬底；位于所述衬底上的具有高声速的非压电衬底层，例如金刚石；位于所述衬底层上的电介质层；所述压电板，通过金属层附接到所述电介质层；两组电极，分别连接到第一母线和第二母线，并以节距p交替地布置在所述压电板上。平行于所述衬底层表面垂直于电极传播的慢剪切体波的速度Vdiam大于所述压电板中的相速度Vph＝2p*FR，FR是通过VLN2dLN确定的所述设备的工作频率。所述节距p满足pVdiamVLN*dLN，其中，VLN是所述压电板中谐振的体波的速度，dLN是所述压电板的厚度。
主权项：1.一种声波谐振器设备100，其特征在于，包括：支撑衬底101；布置在所述支撑衬底101上的非压电衬底层102；布置在所述衬底层102上的电介质层103；厚度为dLN并且具有前表面和后表面的压电板104，所述后表面被金属层105覆盖，并且所述压电板104通过所述金属层105附接到所述电介质层103；叉指电极结构interdigitalelectrodestructure，IDES，所述IDES包括连接到第一母线107的第一组电极106和连接到第二母线109的第二组电极108，其中，所述第一组中的电极106和所述第二组中的电极108在所述压电板104的所述前表面上以节距p周期性地一个接一个交替布置；其中，在垂直于所述电极106、108的方向上平行于所述衬底层102中的层表面传播的慢剪切体波的速度Vdiam大于通过Vph＝2p*FR确定的所述压电板104中的相速度，其中，FR是通过VLN2dLN确定的所述声波谐振器设备100的工作频率；其中，所述节距p满足条件pVdiamVLN*dLN，其中，VLN是在所述压电板104中谐振的体波的速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 牢固地安装在高声速衬底上的声波谐振器
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