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申请/专利权人：法国国家科学研究中心
摘要：本发明涉及用于纳米级热测量的探针设备，该设备包括绝缘杆，从该绝缘杆伸出的尖端，氮化铌NbN的微结构化层，其仅在尖端的部分上延伸并且覆盖尖端的顶点和或覆盖与尖端的顶点毗邻的至少一个区域和或仅部分地覆盖该绝缘杆，以及从该绝缘杆延伸至该微结构化NbN层的至少两根导电引线。
主权项：1.一种用于纳米级热测量的探针设备1，其包括：-绝缘杆2，-从所述绝缘杆伸出的尖端3，-氮化铌NbN的微结构化层5，其仅在尖端的部分上延伸并且覆盖尖端的顶点6和或覆盖与所述尖端的顶点毗邻的至少一个区域和或仅部分地覆盖所述绝缘杆，-从所述绝缘杆延伸至微结构化NbN层的至少两根导电引线7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 法国国家科学研究中心 用于纳米级热测量的设备和用于制造所述设备的相关方法
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