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申请/专利权人：北京理工大学;北京空间机电研究所
摘要：一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置，既去除了使用子孔径拼接法对单子孔径检测时由于参考面精度有限引入的面形误差，提高了检测精度，又将双剪切平移法这一绝对检测技术扩展到大口径平面镜检测领域，扩大了其所能测量的镜面尺寸，降低了大口径平面镜检测过程中的装调难度。包括：1搭建测量装置；2对每个子孔径区域进行五次检测；3移动被测镜，使干涉仪出射光束依次覆盖其他未检测的子孔径区域，对所有子孔径区域进行步骤2；4重复步骤3，直至所有子孔径检测完毕；5利用基于离散相位数据的结构法，根据各子孔径的差分面形数据复原出各子孔径的面形；6拼接得到被测镜的全口径面形。
主权项：1.一种大口径镜面面形高精度检测方法，其特征在于：其包括以下步骤：1搭建测量装置：将被测镜固定在平移装置上，调整干涉仪与被测镜的相对位置，使干涉仪与被测镜的中心在同一水平线上，且从干涉仪出射的光束覆盖被测镜的中心子孔径区域；2令干涉仪光轴所在方向为z轴，首先进行一次检测，结果记为φx,y，利用平移装置对被测镜进行x轴、y轴正方向各两次的平移，单方向两次平移时的平移量分别为s1个像素和s2个像素所对应的空间距离，且s1和s2互质，每次平移后进行一次检测，得到四个位置的检测结果，分别记为φx+s1,y，φx+s2,y，φx,y+s1，φx,y+s2；3移动被测镜，使从干涉仪出射的光束依次覆盖其他未检测的子孔径区域，对每个子孔径区域进行步骤2的五次检测；4重复步骤3，直至所有子孔径均检测完毕；5将各子孔径平移后的检测结果与平移前的检测结果相减，得到被测镜各子孔径的差分面形数据，利用基于离散相位数据的结构法，根据各子孔径的差分面形数据复原出被测镜各子孔径的面形；6对复原出的各子孔径面形数据进行拼接，得到被测镜的全口径面形。
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百度查询： 北京理工大学 北京空间机电研究所 一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置
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