首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种供气装置和气相沉积设备 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:楚赟精工科技(上海)有限公司

摘要:本实用新型提供一种供气装置和包含该供气装置的气相沉积设备。供气装置包括盖体、反应进气装置和至少2个辅助进气装置。反应进气装置沿盖体轴向贯穿所述盖体设置,反应进气装置的出气面设置为能够引导工艺气体形成沿盖体径向的层流,至少2个辅助进气装置围绕反应进气装置间隔设置于盖体,各辅助进气装置的出气面与反应进气装置的出气面位于盖体的同一侧以提供朝向所述层流流动的辅助气体流以抑制层流的工艺气体向远离衬底的方向扩散,使工艺气体集中到衬底表面附近并利于提高衬底表面成膜均匀性和成膜质量。

主权项:1.一种供气装置,其特征在于,包括:盖体;反应进气装置,沿所述盖体的轴向贯穿所述盖体设置,所述反应进气装置的出气面设置为引导工艺气体形成沿所述盖体的径向的层流;至少2个辅助进气装置,围绕所述反应进气装置间隔设置于所述盖体,各所述辅助进气装置的出气面与所述反应进气装置的出气面位于所述盖体的同一侧以提供朝向所述层流流动的辅助气体流。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 楚赟精工科技(上海)有限公司 一种供气装置和气相沉积设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。