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申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置，应用于晶圆清洁领域，该晶圆清洗毛刷包括：对应设置的第一毛刷部件和第二毛刷部件；第一毛刷部件包括第一毛刷主体、第一旋转部件和第一直线运动部件，第二毛刷部件包括第二毛刷主体、第二旋转部件和第二直线运动部件；第一旋转部件和第一直线运动部件与第一毛刷主体连接，第二旋转部件和第二直线运动部件与第二毛刷主体连接；第一毛刷主体和第二毛刷主体均为圆盘状毛刷主体，且第一毛刷主体和第二毛刷主体相对的表面设置有若干条形刷毛。本实用新型通过将晶圆清洗毛刷中第一毛刷部件和第二毛刷部件均设置为圆盘状毛刷部件，且将圆盘状毛刷部件中刷毛设置为若干条形刷毛，提高了晶圆的清洗效率。
主权项：1.一种晶圆清洗毛刷，其特征在于，包括：对应设置的第一毛刷部件和第二毛刷部件；所述第一毛刷部件包括第一毛刷主体、第一旋转部件和第一直线运动部件，所述第二毛刷部件包括第二毛刷主体、第二旋转部件和第二直线运动部件；所述第一旋转部件和所述第一直线运动部件与所述第一毛刷主体连接，所述第二旋转部件和所述第二直线运动部件与所述第二毛刷主体连接，以在清洗晶圆时利用所述第一直线运动部件和所述第二直线运动部件，带动所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体沿相向方向移动，并夹持所述晶圆；所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体均为圆盘状毛刷主体，且所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体相对的表面设置有若干条形刷毛。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置
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