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申请/专利权人：西安应用光学研究所
摘要：本发明公开了一种双曲面或椭球面反射镜光轴精密标定装置，其包括：由前至后同轴布置的干涉仪、高精度球面标准镜、待标定反射镜组件、内调焦望远镜；高精度球面标准镜中心开孔，干涉仪发出球面波测试光束，入射到待标定反射镜组件后再反射到高精度球面标准镜上，之后沿原路返回，进入干涉仪与参考光束发生干涉，实现干涉测量。本发明通过高精度自准直方法，实现测量基准高精度转换，通过调节使干涉仪发出的球面波测试光束的汇聚中心及高精度球面标准镜曲率中心连线、双曲椭球面反射镜光轴、内调焦望远镜光轴、光轴标定工装反射镜法线相互平行，本发明测量精度高，重复精度高。
主权项：1.一种双曲面或椭球面反射镜光轴精密标定装置，其特征在于，包括：由前至后同轴布置的干涉仪、高精度球面标准镜、待标定反射镜组件、内调焦望远镜；高精度球面标准镜中心开孔，干涉仪发出球面波测试光束，入射到待标定反射镜组件后再反射到高精度球面标准镜上，之后沿原路返回，进入干涉仪与参考光束发生干涉，实现干涉测量；所述待标定反射镜组件为双曲面反射镜时，高精度球面标准镜选用凹球面标准镜；所述待标定反射镜组件为椭球面反射镜时，高精度球面标准镜选用凸球面标准镜；所述标定装置还包括光轴标定工装，光轴标定工装包括连接座、反射镜座、平面反射镜；平面反射镜安装于反射镜座上，通过螺钉将反射镜座与连接座进行连接；反射镜座中心设凸弧面，连接座中心设凹弧面，反射镜座与连接座的中心通过圆弧面进行配合，四周留有间隙，通过调节螺钉实现二维角度高精度调节；连接座实现光轴标定工装与待标定反射镜组件镜框背面进行连接；所述高精度球面标准镜、待标定反射镜组件、内调焦望远镜均支撑于可调支架，通过可调支架进行二维角度及平移的精密调节；通过调节所述待标定反射镜组件空间位姿，直至干涉仪测量出最佳面形且干涉条纹为零条纹状态，待标定反射镜组件光轴与内调焦望远镜光轴平行；保持待标定反射镜组件的空间位姿，调节光轴标定工装平面反射镜角度，使内调焦望远镜以光轴标定工装平面反射镜为基准自准，即待标定反射镜组件光轴与光轴标定工装平面反射镜法线平行，完成待标定反射镜组件光轴的精密标定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安应用光学研究所 一种双曲面或椭球面反射镜光轴精密标定装置及标定方法
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