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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。微机械设备构型有衬底S，衬底具有前侧VS和后侧RS；其中，在前侧VS上在横向上间隔开地形成用于感测外部加速度和或旋转的具有惯性结构IE的惯性传感器区域SB1和用于感测外部压力Pa的具有膜片区域M的压力传感器区域SB2；第二微机械功能层P2，通过第二微机械功能层形成膜片区域M；施加在第二微机械功能层P2上的第三微机械功能层P3；其中，惯性结构IS由第二微机械功能层和第三微机械功能层P2、P3形成；和罩装置K，在惯性传感器区域SB1中在第一腔C1中包含预先确定的第一参考压力PP1；并且在膜片区域M下方形成第二腔C2。
主权项：1.微机械传感器设备，具有：衬底S，所述衬底具有前侧VS和后侧RS；其中，在所述前侧VS上在横向上间隔开地形成用于感测外部加速度和或旋转的具有惯性结构IE的惯性传感器区域SB1和用于感测外部压力Pa的具有膜片区域M的压力传感器区域SB2；施加在所述前侧VS上的第一微机械功能层P1；施加在所述第一微机械功能层P1上的第二微机械功能层P2，通过所述第二微机械功能层在所述压力传感器区域SB2中形成所述膜片区域M，所述膜片区域与所述第一微机械功能层P1间隔开；施加在所述第二微机械功能层P2上的第三微机械功能层P3；其中，所述惯性结构IE由所述第三微机械功能层P3形成，或者由所述第二微机械功能层P2和第三微机械功能层P3形成；和罩装置K，所述罩装置键合到所述第三微机械功能层P3上并且在所述惯性传感器区域SB1中在第一腔C1中包含预先确定的第一参考压力PP1并且在所述压力传感器区域SB2中具有第一贯通开口D1以用于将所述外部压力Pa施加到所述膜片区域M上；其中，在所述膜片区域M下方形成第二腔C2，在所述第二腔中包含预先确定的第二参考压力PP2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械传感器设备和相应的制造方法
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