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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本发明公开一种使用于计量学中的光栅，其包含周期性结构，所述周期性结构包含具有间距P的多个单元，所述多个单元中的至少一个单元包含：至少第一周期性子结构，其具有小于所述间距P的第一子间距P1；及至少第二周期性子结构，其与所述至少一个单元内的所述第一周期性子结构并排且分开布置且具有小于所述间距P且与所述第一子间距P1不同的第二子间距P2，P1及P2经选择以产生至少一个叠纹间距Pm＝P1·P2P2–P1，所述间距P为所述第一子间距P1及所述第二子间距P2的整数倍数。
主权项：1.一种用于计量学中的光栅，其包括：周期性结构，其包括具有间距P的多个单元，所述多个单元中的至少一个单元包括：至少第一周期性子结构，其具有小于所述间距P的第一子间距P1，及至少第二周期性子结构，其与所述至少一个单元内的所述第一周期性子结构并排、分开布置且不与所述第一周期性子结构交错，且所述至少第二周期性子结构具有小于所述间距P且与所述第一子间距P1不同的第二子间距P2，P1及P2经选择以产生至少一个叠纹间距Pm＝P1·P2P2–P1，所述间距P为所述第一子间距P1及所述第二子间距P2的整数倍数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 用于计量学中的经改进自叠纹光栅设计
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