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申请/专利权人：赛姆柯(苏州)智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种LPCVD冷却装置，包括水冷法兰、第一供液模块、第二供液模块，石英炉管的相对两端均设置有水冷法兰，水冷法兰内设置有腔体，第一供液模块包括第一送液单元、第一出液单元，第一送液单元与一水冷法兰的腔体连通用于向腔体输送冷却介质，第一出液单元与该水冷法兰的腔体连通用于将腔体内液体抽出；第二供液模块包括第二送液单元、第二出液单元，第二送液单元与另一水冷法兰的腔体连通用于向腔体输送冷却介质，第二出液单元与该水冷法兰的腔体连通用于将腔体内液体抽出。本实用新型提供的LPCVD冷却装置，向水冷法兰的腔体内输送冷却介质，可降低炉口炉尾温度，低温时炉口和炉尾结晶减少，延长密封圈寿命，安全性高。
主权项：1.一种LPCVD冷却装置，其特征在于，包括水冷法兰、第一供液模块、第二供液模块，石英炉管的相对两端均设置有所述的水冷法兰，所述的水冷法兰内设置有腔体，所述的第一供液模块包括第一送液单元、第一出液单元，所述的第一送液单元与一所述的水冷法兰的腔体连通用于向所述的腔体输送冷却介质，所述的第一出液单元与该所述的水冷法兰的腔体连通用于将所述的腔体内液体抽出；所述的第二供液模块包括第二送液单元、第二出液单元，所述的第二送液单元与另一所述的水冷法兰的腔体连通用于向所述的腔体输送冷却介质，所述的第二出液单元与该所述的水冷法兰的腔体连通用于将所述的腔体内液体抽出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛姆柯(苏州)智能科技有限公司 一种LPCVD冷却装置
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