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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：描述了示例性柔性盖板及其制造方法。这些方法可包括将基板层的表面暴露于表面处理等离子体以形成基板层的经处理表面。含硅粘附层可以沉积在基板层的经处理表面上。含硅烷粘附促进剂可结合在含硅粘附层上。该方法亦可包括在含硅粘附层上形成硬涂层，其中该含硅烷粘附促进剂键合到硬涂层和含硅粘附层两者。借由本方法制造的例示性柔性盖板较不易沿着盖板的弯曲或折叠轴线经受折叠疲劳。
主权项：1.一种柔性盖板处理方法，包含以下步骤：将基板层的表面暴露于表面处理等离子体以形成所述基板层的经处理表面；在所述基板层的所述经处理表面上沉积含硅粘附层；在所述含硅粘附层上结合含硅烷粘附促进剂；以及在所述含硅粘附层上方形成硬涂层，其中所述含硅烷粘附促进剂键合到所述硬涂层和所述含硅粘附层两者上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 柔性盖板中的改善粘附层
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