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申请/专利权人：合肥新汇成微电子股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种烤箱腔体环境改善结构，涉及晶圆烤箱技术领域，包括烤箱机；所述烤箱机的侧端连接有一号排气管；所述一号排气管的侧端连接有总排气管；所述总排气管的另一端连接有二号排气管，总排气管的两端连接有一号排气管、二号排气管；通过一号排气管、二号排气管的配合，传统设计有一路置换腔体环境的排气管路，现改造为两路置换气体管路，即在烤箱机启动初期，为了已最快速度排出腔体氧气以及置换掉腔体内不好的环境，一号排气管、二号排气管同时打开，在养含量达到规定值以下后，其中一路排气管路自动关闭，只留一路来置换气体及有机挥发物，可有效、快速置换烤箱机腔体内环境及有机挥发物，保持烤箱机腔体内清洁。
主权项：1.一种烤箱腔体环境改善结构，其特征在于，包括烤箱机1；所述烤箱机1的侧端连接有一号排气管3；所述一号排气管3的侧端连接有总排气管2；所述总排气管2的另一端连接有二号排气管4，总排气管2的两端连接有一号排气管3、二号排气管4；所述烤箱机1的侧端连接有一号排气管3与二号排气管4；所述二号排气管4上安装有电磁阀5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥新汇成微电子股份有限公司 一种烤箱腔体环境改善结构
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