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申请/专利权人：内蒙古大学

摘要：本发明公开了一种基于耦合梁式1比3内共振现象的加速度传感器，包括：质量块，设置在质量块水平方向上一侧、上下对称设置的第一微杠杆和第二微杠杆，设置在质量块水平方向上一侧的第一音叉梁和第二音叉梁，第一音叉梁其两端分别通过第一固定端和第二固定端固定；第一固定端和第二固定端分别设置在检测电极两侧；第二音叉梁的两端分别通过第三固定端、第一微杠杆和第二微杠杆固定；第二音叉梁的两端分别通过第三固定端、第一微杠杆和第二微杠杆固定；第一音叉梁与第二音叉梁之间通过静电耦合，耦合电源输出耦合电压加载在第一音叉梁相连的第二固定端上第一音叉梁通过固定检测电极对幅值和频率进行检测；第二音叉梁通过固定激励电极调整驱动力。

主权项：1.一种基于耦合梁式1比3内共振现象的加速度传感器，其特征在于：包括：质量块4-3，用于在惯性的作用下发生横向运动；设置在所述质量块4-3水平方向上一侧、上下对称设置的第一微杠杆1-1和第二微杠杆1-3，用于对所述质量块4-3感受到的力进行放大；所述第一微杠杆1-1设置在所述第二微杠杆1-3的上方；设置在所述质量块4-3水平方向上一侧的第一音叉梁2-4和第二音叉梁3-3；所述第二音叉梁3-3位于所述第一音叉梁2-4的下侧，所述第一音叉梁2-4其两端分别通过第一固定端2-1和所述第二固定端2-3固定；所述第一固定端2-1和所述第二固定端2-3分别设置在所述检测电极2-2两侧；所述第二音叉梁3-3的两端分别通过所述第三固定端3-1、所述第一微杠杆1-1和所述第二微杠杆1-3固定；所述第一微杠杆1-1、所述第二微杠杆1-3、第一音叉梁2-4和第二音叉梁3-3设置在所述质量块的同一侧；所述质量块4-3上侧与下侧分别与所述第一锚点4-1、第二锚点4-2进行固定；所述质量块4-3的上侧通过所述第一支撑梁4-4与所述第一锚点4-1相连接,所述质量块4-3的下侧通过所述第二支撑梁4-5与所述第二锚点4-2相连接；所述质量块4-3与所述第二音叉梁3-3通过杠杆结构，放大质量块4-3的惯性力，且放大第二音叉梁3-3所受到的力；其中，所述第一音叉梁2-4与所述第二音叉梁3-3之间通过静电耦合，耦合电源输出耦合电压加载在所述第一音叉梁2-4相连的第二固定端2-3上，用于调整所述第一音叉梁2-4和所述第二音叉梁3-3之间的静电耦合强度；所述第一音叉梁2-4通过检测电极2-2对幅值和频率进行检测；所述第二音叉梁3-3通过激励电极3-2调整驱动力。

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