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申请/专利权人：中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
摘要：本发明公开了一种基于刚度耦合的低应力Z轴MEMS加速度计，敏感单元包括质量块、支撑梁和固定梳齿，所述支撑梁的主轴方向角偏离90度，使外力作用下的质量块产生面内偏转，所述固定梳齿的一端通过定齿锚点固定于衬底，所述质量块经支撑梁悬挂于中心锚点，所述中心锚点固定于衬底上，所述质量块包括可动梳齿，所述固定梳齿插设于可动梳齿之间，形成第一梳齿电容和第二梳齿电容，梳齿电容检测质量块面内偏转。该Z轴加速度计的支撑梁的主轴方向角偏离90度，基于支撑梁的刚度耦合原理，使面外加速度作用下的质量块同时产生面内偏转，通过梳齿电容检测该面内偏转完成加速度的检测，具有对称性好、对应力敏感性低、漂移低、非线性小等优点。
主权项：1.一种基于刚度耦合的低应力Z轴MEMS加速度计，包括敏感单元和衬底，其特征在于，所述敏感单元包括质量块、支撑梁和固定梳齿，所述支撑梁的主轴方向角偏离90度，基于支撑梁的刚度耦合原理，使面外加速度作用下的质量块同时产生面内偏转，通过梳齿电容检测该面内偏转完成加速度的检测，所述固定梳齿的一端通过定齿锚点固定于衬底，所述质量块经支撑梁悬挂于中心锚点，所述中心锚点固定于衬底上，所述质量块包括可动梳齿，所述固定梳齿插设于可动梳齿之间，形成第一梳齿电容和第二梳齿电容，所述第一梳齿电容和第二梳齿电容检测质量块面内偏转；所述定齿锚点设置于中心锚点周围，所述定齿锚点和中心锚点设置于圆形锚区内；所述圆形锚区的面积远小于质量块所占芯片面积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 基于刚度耦合的低应力Z轴MEMS加速度计
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