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申请/专利权人：株式会社村田制作所

摘要：本申请涉及平面内和平面外加速度计。在一些实施例中，公开了一种微机电加速度计，其包括一个或更多个检测质量块。该加速度计还包括四组定子梳状物，该四组定子梳状物与转子梳状物一起形成一组四个测量电容器。一些转子梳状物具有相对于定子的在装置平面内的方向上的正偏移，而其他转子梳状物具有负偏移。一些转子梳状物具有相对于定子梳状物的在垂直于装置平面的方向上的负偏移。一些定子梳状物具有相对于转子梳状物的在垂直于装置平面的方向上的负偏移。

主权项：1.一种微机电加速度计，其包括装置层中的一个或更多个检测质量块，其中，所述装置层限定了xy平面和垂直于所述xy平面的z方向，并且所述一个或更多个检测质量块包括沿x方向延伸的转子梳状物，以及所述加速度计还包括沿所述x方向延伸的固定的四组定子梳状物，并且所述四组定子梳状物中的每个组与所述四组定子梳状物中的其他三组电绝缘，并且每组定子梳状物与转子梳状物相互交错，使得所述四组定子梳状物与所述转子梳状物一起形成一组四个测量电容器，以及所述一个或更多个检测质量块相对于所述四组定子梳状物至少在y方向和所述z方向上是可移动的，以及-所述一组四个测量电容器包括第一对和第二对，使得所述四个测量电容器中的每一个属于所述第一对或所述第二对，以及-当所述一个或更多个检测质量块处于其静止位置时，在所述第一对中，所述转子梳状物的位置具有相对于定子梳状物的沿所述y方向的正偏移，使得当所述一个或更多个检测质量块沿正y方向移动远离所述静止位置时所述第一对中的电容增大，以及当所述一个或更多个检测质量块沿负y方向移动远离所述静止位置时所述第一对中的电容减小，以及-当所述一个或更多个检测质量块处于其静止位置时，在所述第二对中，所述转子梳状物的位置具有相对于定子梳状物的沿所述y方向的负偏移，使得当所述一个或更多个检测质量块沿正y方向移动远离所述静止位置时所述第二对中的电容减小，以及当所述一个或更多个检测质量块沿负y方向移动远离所述静止位置时所述第二对中的电容增大，其特征在于，-所述一组四个测量电容器还包括第三对和第四对，使得所述四个测量电容器中的每一个属于所述第三对或所述第四对，以及-当所述一个或更多个检测质量块处于其静止位置时，在所述第三对中，所述转子梳状物的位置具有相对于定子梳状物的在所述z方向上的负偏移，使得当所述一个或更多个检测质量块沿负z方向移动远离所述静止位置时所述第三对中的电容减小，以及当所述一个或更多个检测质量块沿正z方向移动远离其静止位置时所述第三对中的电容增大或保持恒定，以及-当所述一个或更多个检测质量块处于其静止位置时，在所述第四对中，所述定子梳状物的位置具有相对于转子梳状物的沿所述z方向的负偏移，使得当所述一个或更多个检测质量块沿正z方向移动远离所述静止位置时所述第四对中的电容减小，以及当所述一个或更多个检测质量块沿负z方向移动远离其静止位置时所述第四对中的电容增大或保持恒定。

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百度查询： 株式会社村田制作所 平面内和平面外加速度计